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饱和蒸汽压在常温下极低，极限真空度可达10-8～10-9kPa，比矿物油型扩散泵油的极限压力提高较多；
优良的热安定性，耐高温, 在经常处于200℃的工作温度和金属催化作用下不易氧化；
在抽气速率和返流率方面显示出良好的性能；
较矿物油型扩散泵油具有**的氧化安定性，在与大气接触时不易氧化；
能够抗磁场放射线的辐射并具有难燃性。
用途
HFV-KS扩散泵硅油可以在电子、冶金、仪表等行业用作超高真空扩散泵油；
可作为高温热载体以及仪表中的传递液；
可作为电子、航天、核工业等行业要求超高真空的扩散泵工作液。
辉丰HFV-KS275超高真空扩散泵油