三氯氢硅合成尾气的体积分数分别为HCl 30%；H2 64.2%；SIHCl3 5.4%；其他0.2%。多晶硅混合气是在还原三氯氢硅过程中产生的尾气，成分复杂，主要是四氯化硅和三氯氢硅，二氯二氢硅等。多晶硅和三氯氢硅尾气未经处理排放大气，不仅造成污染，还存在重大安全隐患。
根据尾气的特性、成分、压力等，选择适当的工艺流程和技术条件进行尾气处理，则可降低三废排放，变废为宝。把尾气经过压缩后采用冷凝或变压吸附法（即湿法处理，常规干法或新型干法技术处理）进行吸附、分离、提纯，尾气则变成可回收的产品或可循环使用的原料。
我公司生产制造多晶硅、三氯氢硅尾气压缩机，以及生产多晶硅、三氯氢硅需要的补充氢压缩机、循环氢压缩机、还原氢压缩机、氮气压缩机。多晶硅、三氯氢硅尾气压缩机采用填函前置气顶气、回收室一次氮封、D型隔离室二次氮封的安全密封结构，确保介质气体不会外漏。
阳建良
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